二手 FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 #9253905 待售
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FISCHIONE INSTRUMENTS 1020是一種自動化的幹式蝕刻器/asher,設計用於低溫和可變功率等離子體處理、物理和化學氣相沈積,也可用於清潔應用。它配備了功能強大、高分辨率、數字處理控制器和10英寸直觀的用戶界面,為用戶提供最大性能兼容性和靈活性。具有運行高壓、高溫、高清潔率工藝的能力,適用於多種工業和研究應用。1020具有一個2.25英寸寬的腔室和一個2.5英寸背面視圖蝕刻窗口,腔室容量可達24個單獨的1英寸晶圓。腔室和蝕刻窗采用不銹鋼制成,可調節真空系統由一個粗加工站組成。這樣可以對蝕刻過程進行緊密控制,提供精確的蝕刻控制和出色的蝕刻結果。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020的來源部分可堆叠各種選項,以補充蝕刻室和蝕刻窗口,並保持過程進行。1020由可靠的PLC(可編程邏輯控制器)驅動,該PLC具有數字通信協議端口和數字控制信號,可詳細控制蝕刻過程。此外,用戶界面還具有多個進程控制功能,使用戶能夠預先確定每個蝕刻運行的所需參數。PLC提供邏輯和監控,以確保蝕刻室中的所有設備和工藝運行正常。The1020還配備了另外兩個安全組件,可確保操作過程中發生任何事故的風險降至最低。第一個是安全互鎖,旨在防止任何未經授權進入蝕刻室和蝕刻窗口。第二個是E-STOP安全開關,設計用於在發生緊急或意外事件時關閉機器。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020是研究和制造工藝的理想蝕刻器/粉碎器。它以可靠的PLC和數字通信協議有效驅動,而其背面視圖蝕刻窗口和腔室容量使精密蝕刻,讓用戶獲得優越的蝕刻效果。1020具有強大的數字處理器、大腔室容量和可調真空系統,專為工業和研究級應用而設計。
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