二手 FLUID ENERGY Aljet #9214729 待售

FLUID ENERGY Aljet是一種先進的離子銑削設備,旨在在一系列材料中創建高長寬比特征。該系統用於半導體、MEMS、光電和硬材料加工等應用。Aljet單元的設計允許高精度和精密加工,而無需進行濕加工操作。FLUID ENERGY Aljet機的關鍵部件包括氣體分發器、樣品定位器、噴嘴組件、源和控制器。Aljet tool operating by using a mixed of high energy inert or resistive gases directed through a array of nozzes.然後這些氣體被引導到基板上，基板由樣品定位器保持。此樣品定位器使基板在加工過程中保持在適當位置,同時允許用戶精確調整基板的位置。氣體分銷商負責提供和控制氣體的混合物。噴嘴組件產生一束高度聚焦的氣體離子束，這些氣體離子束指向基板。該源提供了加工所需的能量，由燈絲、氣室和電子設備組成。燈絲產生具有可調電流的電子束，通過一個氣室，形成一個電離的等離子體。這種由電子和正離子組成的等離子體隨後被送入一個抽取器，該抽取器產生高能的正離子束，被引導到目標上。控制器負責控制資產的整體運行，允許用戶調整壓力、腔室電流、離子電流、燈絲加熱器、噴嘴設置等參數。FLUID ENERGY Aljet模型效率高,既節省了成本,又提高了生產率。使用這種設備所獲得的精確度允許產生非常高的縱橫比特征，而不會產生濕工藝的缺點。Aljet離子銑削系統能夠產生直徑小、長寬比高的特性,非常適合制造半導體和MEMS應用的元件。這個單元對於任何希望用鋁、銅、矽、藍寶石和黃銅等材料制造元件的實驗室來說都是一個有價值的工具。