二手 GATAN 600 TMP #9284031 待售

GATAN 600 TMP是一種離子銑削設備，用於半導體材料和其他細膩基板的微加工。它旨在為手動、半自動和全自動流程提供高精度和準確性。該系統由幾個組件組成，包括一個可旋轉的源框架、一個斜角離子銑床、一個或兩個主要樣品級、一個收集錐、一個後離子濾波器和一個用於精確控制光束的四軸控制器。該裝置具有一個可旋轉的源框架和兩個差分泵浦離子源。這些組分負責在高能源下產生聚焦的離子流，以蝕刻細膩的材料，如矽和砷化氙。可以調整這兩個源的組合，在整個樣品階段的整個區域提供均勻的離子轟擊。斜角離子銑床附著在源幀上，設計目的是為用戶在選擇銑削角度和深度方面提供更大的靈活性。主要試樣級最多可與兩個晶圓持有者一起使用。晶片支架由特殊的真空夾緊機固定在適當的位置，有效地防止樣品因振動或運動而損壞。收集錐體的設計目的是確保來自樣品級的離子不會影響工具的其余部分。它直接放置在離子源的中心，特別設計用來降低離子束的發散角。後離子濾波器是600 TMP資產的重要組成部分。它負責清除可能汙染樣品的任何不良顆粒或分子，如灰塵、汙垢或含碳分子。過濾器可以設置為一個特定的壓力和流量，這有助於防止任何粒子的遏制。最後，使用四軸控制器為用戶提供對光束的完全控制，包括光束的大小、形狀和角度。這種控制水平允許在蝕刻材料時提高精度。總體而言，GATAN 600 TMP是一個高度先進的模型，設計用於精細的基板的精確和精確的微加工。它由幾個組件組成,這些組件協同工作,使用戶能夠創建最精確的產品,同時在整個過程中保持清潔和安全的環境。