二手 GATAN 645 #70882 待售

GATAN 645是一款具有高分辨率拋光能力的離子銑削設備。該系統由四個單獨的模塊組成。645的組件包括一個鎖載室、一個墊圈真空室、一個離子束柱、一個真中心級、一個真空單元和一個離子束控制（IBC）機。鎖載室由一個鋁制框架組成，該框架包含一個可移動的前面板，兩側各有一個導軌門。它旨在減少壓力變化，還配備了非磁性旋轉和滑動門封，以防止汙染物進入真空室。GATAN 645工具還包括一個帶墊圈的真空室，配有中央端口。中央口允許進入標本室，標本室在1毫巴的低壓下充斥著氙氣。真心級安裝在墊圈真空室上，用於旋轉和傾斜樣品。離子束柱設計為通過控制電流和能量等參數產生均勻的離子束。該柱裝有高精度的X-Y級，用於控制光束方向和焦點。成像資產也位於真空室內。IBC模型用於控制離子束。這個設備包括一個射頻發生器和一個密集等離子體聚焦（DPF）光學電池來控制光束強度、光斑大小和光束電流。真空系統部件位於疫苗室的中央端口和後壁。645單元特別適合變薄，這涉及使用離子束蝕刻掉薄薄的材料層，如氧化矽或其他電介質，以創建微觀結構。它也被用作拋光工具，在金屬、玻璃和其他材料上產生光滑的表面。離子銑削工藝產生具有較高表面能量的均勻表面，使薄膜具有更好的附著力。GATAN 645機具有廣泛的操作參數，包括光束電流、光束能量、光斑大小和入射角。因此,此工具提供了靈活的可調參數範圍,使諸如稀釋、蝕刻和拋光等應用能夠非常精確地執行。