二手 GATAN 655 #293595043 待售

GATAN 655是一種離子銑削設備，設計用於各種材料的蝕刻和材料去除。為了做到這一點，655使用的是一個氙離子源來提供一個有焦點的​​氙離子束，然後將其對準一個目標材料來磨蝕，或稱為「磨」的表面積。此過程稱為離子銑削。GATAN 655使用一個真空室，使離子束聚焦到其所需的位置或蝕刻點。該系統的腔室由由模塊化法蘭連接的UHV外殼組成，為不同的任務提供了方便的設置和重新配置。在腔室內部，通過電子轟擊增加離子束的能量，允許在需要時更高的蝕刻速率。655還包括一個機械手和微操縱器，在腔內提供六個自由度的移動。兩者都可以用來精確控制離子束，允許用戶將其聚焦到任何需要的位置。另外還有一個腔內焦點調整單元，進一步提高蝕刻面積的精度。GATAN 655中可以使用不同的附件來優化蝕刻工藝。例如,GATAN Infra View允許將通量室連接到機器。這提供了一個視覺光學工具，允許用戶監控蝕刻速率和準確性。同樣，CryoVent資產可用於冷卻蝕刻目標，保護易碎樣品和提高蝕刻速率。655還包括EIP界面和用戶定義的大小、形狀、強度和密度特征,允許用戶自定義。這可用於生產各種高精度的蝕刻和銑削工藝。此外，該模型包括全面的診斷工具，包括一個原位光譜儀，允許用戶實時監測蝕刻過程。總體而言,GATAN 655是一款先進的傳統離子銑削設備,能夠生產具有多種工藝選項、定制功能和監控功能的高精度蝕刻。系統的模塊化設計和附件提供了更好的過程控制和最佳的性能。