二手 GATAN 682 #293648546 待售
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ID: 293648546
Precision Ion Polishing System (PIPS)
MAXTEK TM-350/400
(3) Individual ion sources (ion energy 1-10KeV)
Etching area: 7-10 mm
Silicon etching rate 10 μm / hr
Tungsten 3 μm / hr for at 10.0 keV
Carbon coating rate 0.5Å / sec
Chromium 1.5 Å / sec at 10.0 keV
Uniform over 1" Diameter
(2) Dual target sets, selectable under vacuum
Target materials: Au, Au / Pt, Ag, C, SiO2, Cr, Ti, Al
Spare parts included:
Qty / Part number / Description
(1) / 682.82001 / Service manual
(1) / 682 / Service kit
(1) / 682 / Accessories kit
(1) / 691 / Accessories kit
(1) / 691 / Liquid nitrogen trap
(1) / 09811 / Chemical vials
(2) / 682.15200 / Pump spanner wrench
(2) / 09680 / Krytox grease
(2) / 682.11028 / Charge, carbon replacement
(1) / 682.19074 / reducer
(1) / 682.19075 / reducer
(2) / 681.19076 / Tri-Pod mount adapters
(2) / 682.19007 / Centering rings
(1) / 682.14080 / Complete O-Ring kit
(1) / 681-19083 / Adapter tube
(1) / 05530 / Cable coax.
GATAN 682是為透射電子顯微鏡（TEM）材料的高性能物理制備而設計的離子銑削設備。利用高功率慣性聚焦離子源，在MEMS可編程級上，產生一束用於從樣品中濺出幾納米表面材料的氙離子束。682系統具有可變角度的真空室,能夠容納各種樣本量和形狀,以及用於調節離子束方向的專用傾斜儀。真空室與GATAN氣體控制單元（GCS）相連，GATAN氣體控制單元提供室內氣體和顆粒的流量控制。機器還包括一個電動樣例階段、高級自動化控制軟件和用戶友好的GUI（圖形用戶界面）。GATAN 682產生了空間均勻、高質量的銑削結果，這主要是由於它改進了氣體和離子束控制的設計。氣體流速由專門設計的噴嘴維持，真空室中的電勢分布利用專利電極，使離子束以預定角度精確聚焦，在大表面上給出均勻的蝕刻深度。這種先進的控制工具和軟件允許對樣品進行高效、精確的銑削而無需手動調整。682還配備了柔性花紋生成器模塊，以允許更精確、均勻的蝕刻花紋。陣列生成器模塊根據樣品的形狀、遮罩幾何形狀和可選的處理參數（如蝕刻、離子頻率和光束寬度）生成陣列。此模塊有助於確保均勻、準確的蝕刻深度,即使對於形狀復雜的樣品也是如此。此外，GATAN 682提供了輻射公差模式等高級功能，允許用戶在TEM操作過程中樣品暴露於入射輻射時調整銑削設置。它還包括一個服務計數器，為用戶提供關於總銑削時間、激活離子數量和平均蝕刻速率的信息。總的來說,682是一個非常先進的離子銑削資產,具有極好的精度和可靠性.其尖端的技術、創新的設計和廣泛的特點使其成為TEM研究材料物理制備的理想選擇。
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