二手 GATAN 691 PIPS #9075091 待售
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ID: 9075091
Precision ion polishing system
Ion source:
Ion guns: (2) Penning ion guns
Milling angle: +10i to -10i, (adjustable)
Ion beam energy: 1.5 keV to 6 keV
Beam diameter: 350 m FWHM at 5 keV to 800 m FWHM at 5 keV
For broad beam guns
Ion current density: 10mA/cm2 peak
Beam alignment: Precision beam alignment
Specimen stage:
Sample size: 3 mm or 2.3 mm
Mounting: Gatan patented DuoPost (standard) or Graphite holder (optional)
Rotation: Variable from 1 to 6 rpm
Beam modulation: Single or double sector for exceptional cross-sectioning
Viewing: Binocular microscope: 40x or 80x
Vacuum:
Dry pumping system: Molecular drag pump
Pressure:
Base pressure: 5E-6 torr
Operating pressure: 8E-5 torr
Vacuum gauge:
Penning type for main chamber
Solid-state for backing pump
Specimen airlock:
GATAN Whisperlok
Specimen exchange time: <30sec.
GATAN 691 PIPS是一種離子銑削設備，設計用於納米加工設施。離子銑削是一種使用離子束從樣品表面去除材料的過程,通常作為創建具有納米級分辨率的特征的一系列步驟的一部分。這個特殊的系統是由電子顯微鏡、成像和分析儀器的領先制造商GATAN, Inc.開發和制造的。691 PIPS是適合高吞吐量、批處理應用的用戶友好單元。它非常適合使用許多裝有樣品的裝置來研磨階段,並且能夠將樣品的五列階段以一個運動或一個樣品以一系列步驟定位。該機利用自動化控制器同時管理多達八支離子束噴槍，便於調節光束電流（離子銑削電流範圍為0-15毫安）和調整光束角度。此外，該工具允許自動化樣品加載、卸載、樣品標識和嚴格的梁模式（以及所需的特定參數）。GATAN 691 PIPS提供了廣泛的現場檢查，進一步確保了離子銑削操作的準確性和可重復性。現場檢查，包括目視檢查（表面特征或缺乏表面特征）、光學顯微鏡（用於檢查銑削工藝前後的樣品表面）、二次電子顯微鏡（SEM）和掃描電子顯微鏡（SEM），以便進一步分析銑削表面。資產本身包括堅固的真空室、具有增強樣品穩定性的優化樣品級、用於樣品級精確定位的可調步進電機、XYZ機械掃描儀、數字腔室控制器、自動控制器、自動對準模型，以及各種離子銑削槍以滿足一系列要求。該設備設計有一個用於樣品分析的光學端口、一個離子汙染監測系統和一個氣體輸送單元，以加快氮化物蝕刻和表面清潔。有多種安全和過程控制功能，包括真空警報機、惰性氣體處理系統和紫外線凈化。此外,691 PIPS還配備了診斷程序,可幫助排除可能出現的任何潛在問題。GATAN 691 PIPS被認為是納米加工應用的理想選擇，提供卓越的精度、重復性和易用性。它的自動化功能簡化了制造過程,而且其廣泛的現場檢查確保了準確性。
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