二手 GATAN 691 #293752323 待售

GATAN 691是一種高科技的離子銑削設備,其設計目的是通過稱為離子銑削的過程,促進各種材料的精密表面修改。該系統利用的「幹式」精密蝕刻技術,實現了對材料表面和三維（3D）特征的卓越控制。691單元設計允許高速銑削半導體或絕緣材料，包括矽、鋁、碳、二氧化矽、氮化矽和鎢等。這臺機器有一個超低能量離子源，能夠輸送能量從0.5 keV到10 keV的聚焦離子束。此外,GATAN 691具有20 W的強大離子源,能夠提供非常高質量的銑削結果,而且附帶損害最小,使其成為特別重視高保真度的材料的理想選擇。此外,其強大的控制工具允許在處理時精確更改角度和距離,從而有助於創建自定義特征和高精度蝕刻。691具有包括其高分辨率級機芯在內的幾個優勢特征，使其適合於特征尺寸小至100 nm的表面圖樣；其光學系統用於查看和實時表面評估；和其集成的負載鎖，保持真空，以避免後處理氧化。它還包括保持人員和設備安全的隔離安全系統，以及用於成像的超低壓電阻加熱資產和閉合變焦鏡頭配置。GATAN 691的用戶友好界面具有直觀的圖形用戶界面（GUI）,用於流程配方設置、控制和監控,具有IQ/OQ驗證的靈活模型自動化模塊,以及用於提高操作效率的遠程訪問選項。它還包括一個全面的實時診斷模塊,使用戶能夠及時排除和解決設備問題。除了這些特性外，691還包括臺式離子束分析系統，支持一系列能量過濾成像和光譜技術。該機組還配有強大的渦輪泵支撐和五站托盤換熱器，用於提高吞吐量和處理仿真。最後，GATAN 691可以適應一系列應用，從光刻到樣品和樣品制備。總體而言,691是一臺先進的離子銑床,旨在以前所未有的速度和控制實現生產規模和表面修改過程。GATAN 691結合低能離子技術和受控級運動，為制造高精度特征和表面提供了可靠高效的工具。