二手 GATAN 691 #293757339 待售

GATAN 691是一種離子銑削設備，用於以局部方式從表面去除材料，而不會對下層表面造成任何實質性的地形修改或損壞。該系統由一個高壓源、一個真空室、一個離子銑削工具以及其他各種旨在降低基板損壞風險的組件組成。離子銑削是一種磨料過程，其中離子被加速以撞擊材料表面，從而導致材料位移和/或層燒蝕。691單元有一個相對較小的真空室，直徑約16英寸。它圍繞不銹鋼波紋管建造，操作壓力高達10-6托。該機配有1至25kV範圍內的高壓電源，離子銑削電極的電流供應高達20mA。離子銑削槍具有可調參數來控制離子的角偏差、能量和電荷。該工具還配備了一個快門，用於控制材料表面對離子的暴露。離子的角偏差可在0-9.9 mRad的範圍內調節。這允許梁撞擊在材料表面上的精確位置。離子的可調能量和電荷可用於選擇材料去除發生的深度。這對於避免底層的任何重要地形變化是有用的。GATAN 691資產可用於加工多種材料。適合離子銑削的材料包括鋁、銅、鈦、矽、哥、鎳鋁合金。該模型還配備了一個容器，用於收集離子銑削過程中產生的燒蝕材料和碎片。691設備常用於制造半導體底物、薄膜沈積系統、碳膜和砷化的組分。它有幾個優點，包括精確的材料去除，最小的基板損壞，並提高吞吐量。離子銑削系統，例如GATAN 691，讓研究人員能夠準確控制材料移除的深度和位置，並在多種材料中製造錯綜復雜的圖案和特徵。該系統可靠，可用於制造符合精確規格的部件。綜上所述，691是一種高度可靠的離子銑削單元，具有可調參數，可以為各種應用精確去除材料。