二手 GATAN 691 #293826925 待售

GATAN 691是一種離子銑削設備，用於通過去除薄層材料來制備電子顯微鏡樣品表面。該系統采用閉環、三級電氣/機械離子聚焦裝置，將一束離子束輸送到樣品表面，並在雙管「毛刺消除器」中收集濺射材料。這樣就能夠準確控制離子束能量參數（控制銑削深度的參數）,以及影響濺射速率的光束角擴展。樣品平臺由一個直徑300毫米的真空密封平臺組成，該平臺使用共享饋線為離子銑削源和樣品供電並發出信號。加速離子的電源可在很寬的動態範圍內調節，並且在操作過程中樣品保持在固定的偏置電壓。此外，樣品平臺允許使用安裝在平臺表面的空氣驅動執行器在x、y、z軸上進行樣品傾斜。光束的來源是具有圖形陰極和改進型抽取器的大功率離子槍，可實現高性能濺射。該槍與形成法拉第屏蔽的一系列金屬板相連，防止電子汙染光束，同時加速離子束。此外，稀土磁體能夠在樣品表面附近提供高達2特斯拉的消磁場。機器還包括一個光學視頻查看工具，提供樣品表面的全場圖像，並使操作員能夠實時觀察銑削進度。最後，為了精確控制銑削過程，資產包括一套軟件，設計用於通過電源控制離子束參數，允許控制束電流、束能量、點大小和其他參數。這種對加工過程的精密控制允許對樣品進行精確銑削,並確保精度和可重現的結果。