二手 GATAN 691 #293827744 待售

GATAN 691是設計用於納米結構生產的精密離子銑削設備。它是GATAN, Inc.的最新產品,GATAN, Inc.是重點離子束（FIB）系統的領先供應商,它結合了其離子源和離子植入系統的最佳特性。691能夠生產可廣泛應用的高精度納米結構。它能夠在納米範圍內銑削很小的特征，使其適合在半導體、金和其他導體等材料上工作。GATAN 691的銑削室由超純化不銹鋼構成，為清潔銑削工具提供低背景汙染水平。691的離子源是液態金屬離子源（LMIS）。這樣就可以實現高分辨率的銑削圖樣,並具有非常低的能量和對樣品的最小損害。GATAN 691還配備了離子檢測器和控制面板，用於監控和調整銑削過程。691是高度自動化的,允許在系統上運行各種自動化程序,從而節省時間並為研究人員提供簡化的工作流程。該單元配備了多種工藝控制程序，以確保銑削工藝可以根據用戶的需要進行定制。要進行離子銑削，GATAN 691需要一臺​​氙氣進出口機。氙氣用於真空腔室並保持腔室清潔。此外，691有等離子體輔助離子銑削工具，有助於提高離子束穩定性，減少離子束侵蝕。GATAN 691是生產納米結構的強大工具，精度極高，效果極佳。其低背景汙染、自動化特性和強大的離子銑削功能使其成為研究半導體和各種其他設備的重要工具。