二手 GATAN 691 #9253807 待售

GATAN 691是一種「離子銑削」設備，一種用於制造和檢驗納米級樣品的物理蝕刻，如半導體器件。該系統由離子源、電源、真空室、各種光束集中器和數字自動化軟件組成。該裝置的精密性能可降至0.1納米精度。它能夠蝕刻到150納米的深度，是現有最精確可靠的離子銑削系統之一。691由耐用不銹鋼和其他耐銹材料構成，旨在確保長期可靠運行。機器的基本成份是兩個離子源，一個散布著移植物，一個移植物和一個rypto。的主要來源，其大電流和能量密度導致更快的蝕刻。該工具的低顆粒中和器也允許更高的蝕刻速率性能。The源用於更高能量的銑削和成像應用。這兩個源都裝在一個真空室中，有一個精細的冷卻資產和各種光束集中器。該設計確保了可靠的操作和最大的性能。GATAN 691由400瓦直流電源供電，通過數字自動化和軟件控制。包括一個自動控制面板來編程和監控模型的性能,其設備能夠分析多掩蔽晶片和樣品。系統還可以執行各種各樣的成像和分析程序。這些包括X射線光譜、X射線光束表面映射、機械分析、光學微型集成反射光譜等。這種廣泛的分析工具使得它成為納米級器件制造質量保證的理想選擇。最後,內置了安全功能,以防止與離子銑削相關的任何潛在危害。這包括在發生緊急情況時自動關閉電源的自動旋轉安全裝置。其他機載安全系統測量和維護機器的真空壓力，以及防止意外錯誤的離子束。綜上所述，691是最可靠、最精確的離子銑削系統之一。它能夠以極高的精確度蝕刻納米級樣品，並提供各種各樣的分析和成像程序，以確保納米級器件生產的質量保證。它的多種安全功能還確保了對用戶和工具本身的最高保護級別。