二手 GATAN 691 #9278092 待售

GATAN 691是一種用於樣品制備的離子銑削設備。它是一種物理氣相沈積（PVD）系統，利用反應性離子在試樣表面上產生材料薄膜。691用於制造極薄的樣品，用於電子顯微鏡（SEM/TEM/STEM）成像。GATAN 691將不同的過程結合成一個單元，包括濺射離子蝕刻（SI）、磁控管濺射沈積和化學機械平面化（CMP）。691由三個都附著在基座或基座上的腔室組成。第一室是蝕刻室，在其中放置試樣進行離子蝕刻。樣品由四個樣品支架定位，通過控制離子角度和束電流來確定蝕刻速率。腔室中的電動機移動樣品支架，以根據需要增加曝光時間，以獲得所需的蝕刻速率。GATAN 691的第二室是磁控管濺射沈積室。該腔室用於將金和鉻的金屬薄膜沈積到樣品的蝕刻表面。這樣做是為了形成樣品的電接觸。沈積速率可調，以匹配樣品的蝕刻速率。691的第三室是化學機械平面化室。該室用於通過拋光沈積和蝕刻殘留物來清潔和光滑樣品表面。該腔室使用磨料介質，如金剛石或氧化鋁，結合加壓流體從試樣表面機械去除材料。此過程可用於創建平坦、均勻的曲面。總體而言，GATAN 691是標本制備和稀釋的絕佳工具。它將多個進程組合到一臺機器中，並且高度可定制以滿足用戶的需求。此外，由於體積小，它幾乎不需要地板空間，因此適合在實驗室或教育環境中使用。