二手 GATAN 697 #9202471 待售
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已售出
ID: 9202471
Precision ion polishing system
Ilion II system
Broad beam argon milling system
Whisperlok system: Ability to load / Unload samples
Milling angle: +/- 10 degrees
Milling rate on silicon at 8.0kV: 300um/hr
Low energy focusing penning ion guns
Variable energy: 0.1 to 8.0kV
Ion source:
Ion guns: Two penning with rare earth magnets
Milling angle: +10 to -10°
Ion beam energy: 0.1 - 8.0kV
Ion current density peak: 10(A/cm²)
Beam diameter: Adjustable using gas flow controller / Discharge voltage
Specimen stage:
Mounting: i=Ilion patented blaae
Rotation: 0.5-6.0 RPM
Beam modulation: Single / Double with adjustable range / No modulation
Vacuum:
Dry pumping system: Two stages diaphragm pump backing a 80L/s turbo drag pump
Pressure (torr):
Base: 5 x 10^-6
Operating: 8 x 10^-5
Vacuum gauge: Cold cathode type
Specimen airlock: Whisperlok, specimen exchange time <1 min
User interface:
10" Color touch screen: Simple operation with complete control / Recipe operation
Options:
Certain llion+ II models includes
Llion+ II digital zoom microscope:
Microscope assembly
Digital camera with USB cable / Trigger cable
Imaging PC
Ethernet cable
USB Cable connected to the camera
Power consumption (W):
During operation: 200
Guns off: 100
Argon gas: 25 psi
Power requirements: 100/240 VAC, 50/60 Hz
Manuals included.
GATAN 697是由GATAN公司開發的離子銑削設備。該系統旨在在包括半導體、金屬、陶瓷和聚合物在內的多種基板上加工微米級特性。它使用高能離子束以精確、受控的方式將材料從基板上磨掉。697利用高通量離子源、準直單元、光束消燒機、離子提取透鏡產生聚焦、高能離子束。然後將離子束引導到基板表面，產生各種過程，如蝕刻、燒蝕、濺射或沈積。離子束可以精確編程，以磨削微尺度特征和結構在基板上。GATAN 697由一個稱為GATAN Control的獨特軟件包控制。此軟件允許用戶對工具進行編程,以使其以任何所需的角度或模式研磨任何基材。它允許精確控制離子束，從而對復雜的結構和形狀進行精確和可重復的加工。697設計有穩健的安全措施。這些特性包括當離子束上升到危險水平時會激活的自動關閉資產，以及由於機械故障而自動關閉。GATAN 697是用於研究和生產應用的基板微米級加工的理想選擇。它提供了高精度的，可重復的結果，最小的磨損和撕裂的離子源和組件。該模型是在各種基板上產生微米尺度特征的可靠、經濟的方法。
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