二手 HITACHI IML-4-1 #9283962 待售

HITACHI IML-4-1離子銑削設備是一種先進的材料濺射蝕刻系統.它專門設計用於將金屬、絕緣體和/或氧化物材料的薄膜沈積在多種基材上。該機組使用充有交流穩定電源的高壓，然後在真空室內部電離。帶正電和負電的離子隨後從電源中釋放出來，並加速穿過真空室與材料基板碰撞，造成物理和化學侵蝕。IML-4-1臺機器采用4軸、負載鎖、腔室，基板安裝在旋轉夾具上。材料放在基板支架上，夾具裝入腔室。然後密封腔室，然後將工具加壓到高真空水平。資產的最大壓力為5x10-7 Torr，最小射頻功率為30瓦，工作溫度可達200 °C。RF功率通過自動調整功能進行調整,以獲得最佳效果。離子銑削模型的計算機控制過程監視器為用戶提供了對整個過程的直接實時分析。這有助於確保精密蝕刻,並以極低的失真實現超高蝕刻速度。此外，設備還配備了自動氣流監視器，因此用戶可以確保一致的蝕刻環境。該系統的設計考慮到了安全性。它有一個緊急關閉開關，以確保用戶不會過度加壓腔室。此外，該裝置能夠監測真空水平，並在真空水平降至設定值以下時自動關閉機器。總體而言,HITACHI IML-4-1離子銑削工具是一種先進的濺射蝕刻資產,旨在在各種材料基板上提供高精度蝕刻結果。它的計算機控制過程和氣流監測器確保最佳的蝕刻環境，而其安全特性有助於防止過度加壓和其他事故。