二手 ION TECH MPS-3000 FC #9157317 待售

ION TECH MPS-3000 FC
ID: 9157317
Ion source controller.
ION TECH MPS-3000 FC是一種專用的離子蝕刻溶液,利用氣簇源離子銑削技術,產生精確、高質量的微結構表面光潔度。這種離子銑削設備具有高度可調的掃描運動,允許在各種材料上進行受控和廣泛的蝕刻應用。其緊湊、剛性的設計使其能夠用於基準和工業應用。ION TECH MPS 3000 FC離子銑削系統由真空室、離子源、可調掃描運動單元、加熱背板和PC控制控制機組成。該工具由一個300瓦的微波離子源提供動力,該源由基於氟碳的反應氣體供氣。然後,這種氣體被高頻電壓電離,並被電場加速,產生集中在待加工材料表面的離子簇。在蝕刻周期MPS-3000, FC利用可調節的掃描運動資產來控制離子束的位置,並在整個表面提供均勻的蝕刻輪廓。可調掃描速率特征允許從淺到深的各種蝕刻深度。此外,加熱的背板有助於最大程度地減少基板表面損壞和增加均勻性.MPS 3000 FC還具有用於精確設置和監控蝕刻過程的數字控制模型。控制設備允許遠程編程和執行多個蝕刻周期,並且可以配置為在每個周期中自動調整熱處理參數。ION TECH MPS-3000 FC是一種可靠和通用的離子銑削系統,旨在在一系列工業應用中生產高精度和高質量的微結構曲面。由於它能夠提供精確的蝕刻輪廓以及廣泛的可配置性和靈活性,因此是一個絕佳的選擇。
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