二手 ION TECH PlasmaFab 340 #9358374 待售

ION TECH PlasmaFab 340是一種先進的等離子體蝕刻設備，設計用於半導體技術中的精密微加工。它是一種離子銑削系統，使用高電荷離子從工件表面去除材料。與傳統銑削方法相比，離子銑削工藝不涉及工件與切削刀具的物理接觸，而是使用高能離子切入材料。PlasmaFab 340的核心成分是RF驅動的離子源。該源由電離子、磁場限制室、發電源和線性加速器組成。電離子使用電子槍和振動機制為正負離子充電和加速，直至線性加速器的最大能量。然後將這些離子指向目標工件基板以蝕刻掉材料。該單元還包括一個晶片級，用於保持基板在適當的方向均勻蝕刻。此階段能夠進行大面積掃描以及單點站點處理。晶圓架也可用於調節基板與離子源之間的距離，以最大限度地提高蝕刻效率和均勻性。機器配備了自動端點檢測工具，允許用戶監控蝕刻過程，並在所需的物料去除水平上停止操作。這提供了一種有效的控制過程和確保最佳性能的方法。ION TECH PlasmaFab 340能夠精確蝕刻,功能尺寸可達50 nm,適用於各種高級工藝應用。可用於單掩模光刻、接觸窗蝕刻、高縱橫比蝕刻、摻雜、化學機械平面化及相關工藝等應用。該資產高度可靠和堅固,需要最少的維護和設置。結合其低成本，使其成為半導體行業先進蝕刻和微加工應用的理想解決方案。