二手 ION TECH / VEECO Sourcerer #9156278 待售

ION TECH/VEECO Sourcerer是一種用於半導體、金屬和合金納米加工的離子銑削系統。這種尖端工具為各種材料和設備提供精確、高質量的蝕刻。VEECO Sourcerer的主要特點是能夠使用聚焦離子束（FIB）以精確的精度創建精細、納米級的結構和特征。該系統由容納離子源的真空室、掃描電子顯微鏡（SEM）和標本級組成。樣品放在標本臺上，可以三維操縱，讓FIB從所需的精確角度撞擊樣品。離子束可以在非常精確的位置和深度蝕刻樣品。使用SEM實時監控作業,並可根據需要調整結果。ION TECH SOURCERER的FIB源是在高能量下操作的，可以輸送不同材料的離子/原子，如氙氣、氙氣或氧氣。離子通常通過柵極和靜電透鏡加速，然後以高達40千伏的電壓撞擊樣品。Sourcerer還提供高達100nA的可變FIB束電流，可根據蝕刻區域進行調整。在蝕刻過程中，真空壓力和目標基板溫度也可以被操縱。這樣可以更好地控制蝕刻特性。可以精確控制蝕刻程度、蝕刻深度和侵蝕速率。此外，該系統還可以使用不同類型的探測器、光束柵格和電子除塵器離子進行定制。這樣可確保在整個樣品上均勻蝕刻,從而實現良好的特征分辨率。最後,ION TECH/VEECO Sourcerer采用用戶友好界面構建,易於操作,從而提高了質量和效率。VEECO Sourcerer提供全面的特性和技術組合，使其成為納米級半導體制造、金屬蝕刻和納米加工的完美工具。這個用途廣泛的單元可以以極高的精度和速度創造出錯綜復雜、高品質的特性和元件，使其成為半導體行業中可靠有效的工具。