二手 IONTECH IBD #293619172 待售

IONTECH IBD是一種高分辨率的離子銑削設備，專門設計用於制造、原型設計和研究用途。它利用高溫等離子體蝕刻掉材料，包括砷化氙（GaAs）和聚酰亞胺底物。IBD特別適合於薄膜器件的制造，包括微機電和納米機電系統（MEMS/NEMS）。該系統采用濺射和離子銑削室，能夠泵送到20毫升的底壓。銑削過程涉及使用高能離子束的氙氣，它轟擊待加工材料的表面。同時施加直流偏置電壓控制蝕刻深度。當離子穿透材料時，它們導致頂層被噴出，形成坑、溝和結構，大小範圍從微米到納米不等。IONTECH IBD還具有可調節的精細聚焦透鏡，允許精確操縱光束電流、電壓和脈沖持續時間等光束參數。因此,用戶可以輕松調整銑削過程,以創建所需的結構尺寸和深度。使用溫度控制的波紋管單元和集成的冷卻劑旁路,銑削頭可以很容易地移動,並以很高的精度圍繞材料表面定位。這確保了高分辨率和重復性，同時防止損壞基板。此外，IBD還配備了先進的測量和數據測井能力，使用戶能夠監測關鍵銑削參數，如材料去除速率和離子能級。這些數據可用於分析銑削過程,深入了解該過程,並使用戶能夠優化機器以獲得所需的結果。最後,IONTECH IBD具有多層銑削室,可支撐多種基板並減少刀具汙染,從而允許連續的高精度設備制造。此外,OS-3操作軟件還自動執行許多日常操作任務。綜上所述,IBD是一種高級離子銑削工具,專為制造、原型設計和研究任務而設計。它的高分辨率能力、可調光束參數和數據記錄功能確保了精確的結果和高效的操作。