二手 LAM STRATA-3 #293609722 待售

LAM STRATA-3（低能離子銑削）是為各種材料加工應用而設計的現代離子銑削設備。它非常適合需要低能離子蝕刻的應用，例如清潔、圖樣化和平面化。該系統由掃描頭、真空室、晶片級和高壓源組成。掃描頭提供了對整個樣品區域的廣域粒子束掃描控制。真空室有助於保持工作區域的受控真空，並與掃描頭相連。晶片級有利於樣品在真空室中的放置。最後,使用HV源來啟用光束電流。該單元由三個離子銑削槍提供動力。它對小顆粒具有較高的耐受性，用於去除樣品材料的頂層而不損壞底層。該機兼具低能量和高能量槍，可用於各種應用。該工具還配備了一個新開發的水動力室，產生強大的水動力流動，減少離子束中的離子背景。LAM-STRATA-3具有獨特的晶片處理資產,可確保晶片在離子槍運行時保持在原位。晶圓電源、卡盤和冷卻系統都集成到離子銑削模型中。卡盤在離子銑削過程中保持晶片，而供應設備則確保晶片精確地呈現在離子槍上。冷卻系統通過控制晶圓的溫度，有助於減少吸熱，並有助於更好的蝕刻結果。該單元與不同的材料兼容，如鋁和鈦。它具有進行連續蝕刻處理的能力，可以蝕刻高達50微米深的樣品。為LAM-LAM STRATA-3開發的軟件允許處理無限數量的晶圓。此外，該機的特點是室內填充和清洗，創造一個清潔和超清潔的環境。LAM-STRATA-3是各種不同材料加工應用的理想工具。它以經濟實惠的價格提供了強大而可靠的解決方案。該資產設計具有先進的特性，如高離子束電流和水動力室，為用戶提供最好的結果。