二手 LAM STRATA-3 #293609729 待售

LAM STRATA-3
製造商
LAM
模型
STRATA-3
ID: 293609729
優質的: 2022
System Process: CVD 2022 vintage.
LAM STRATA-3是一種精密均勻去除材料的離子銑削設備.離子束由離子源產生,然後在惰性超高真空環境中指向樣品工件。離子束在到達樣品表面之前穿過電場,允許通過離子銑削過程對材料進行明確的去除。離子束被樣品表面吸收,在其周圍形成等離子雲,從原子鍵中釋放出粒子。這些離子化的粒子隨後從樣品轉移到防禦機理上,於是它們被收集並返回離子源。這一過程可以精確去除材料和受控材料等離子體的生成,並對等離子體的摻雜和微量元素進行精確控制。STRATA-3離子銑削系統基於具有三軸提升柱的自動化單元。此配置允許在銑削過程中精確定位樣品。樣品臺配有一個伺服電動機,能夠給離子束下方的樣品材料送料,同時可以微調相關能量以優化銑削性能。離子源連接到一件式升力石英窗口,允許更高精度的光束對準。LAM STRATA-3機設計用於處理直徑可達5厘米、受影響材料深度為10毫米的樣品。然後可以將樣品裝載到升力柱上進行離子束調節和電子槍進行樣品放大。可調離子源可設置為產生能量高達20 keV、光束大小為1至5 μ m的0.1至50 mA的光束電流。一旦實現了所需的設置,銑削就可以從選擇數量的等離子體計數和溢出計時器開始,以幫助維護可靠和準確的過程。STRATA-3的操作員界面提供了一系列旨在簡化離子銑削體驗的直觀選項。用戶可以使用平移、旋轉或傾斜預先編程的位置來設置樣本,以實現精確的樣本對齊。然後,操作員可以使用遠程查看器監視離子銑削操作,從而可以實時監視整個過程。與傳統的離子銑削系統相比,LAM STRATA-3提高了IMS處理的精度,具有高質量的等離子體輪廓和優異的表面光潔度。刀具的安全聯鎖和高質量的元件提供可靠的離子銑削和有保證的產品質量。結合行業領先的耐磨石英窗和提升柱的通用設計,STRATA-3確保了各種應用的最佳性能。
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