二手 LAM STRATA-3 #293616560 待售

LAM STRATA-3是一種用於各種材料的蝕刻和濺射工藝的最先進的離子銑削設備。該系統結合了強大的離子源和多種銑削電極，從而能夠精確控制用於制造半導體、MEMS、OLED和其他組件等產品的蝕刻和濺射過程。該裝置優於同類產品的優點包括其大腔室尺寸、高精度定位和可重復性、大功率離子源以及提供最佳銑削混合物的能力。STRATA-3利用的離子源是一臺令人印象深刻的200W感應耦合等離子體機器，能夠在低壓或高壓下為各種氣體產生高能離子電流。這為操作員提供了多種工藝選擇，如離子銑削、等離子體輔助離子銑削、離子束濺射和反應性濺射。LAM STRATA-3利用可調節銑削室提供最多四種氣體的最佳銑削混合物。腔室的適應性有助於確保最大的蝕刻效率和準確性，而高精度定位工具則允許多個電極和旋轉基板的精確對準。該資產還提供了兩種處理頭選項,即雙成像頭和單成像頭,以實現多種濺射技術。雙成像頭可用於單面或雙面成像,而單成像頭可用於多層沈積到單個基板上。兩個磁頭都能夠精確控制,因為它們可以精確地將精確的薄膜施加到基板上.STRATA-3的一系列特性和配件也使得它成為納米技術應用的熱門選擇。這些功能包括先進的安全系統,可幫助防止意外接觸帶電粒子和其他與離子銑削相關的危險。此外，該模型與多種物理氣相沈積系統以及各種硬件和軟件選項兼容。最後,LAM STRATA-3的設計采用了易於使用的界面,使操作員能夠輕松編程和設置設備參數。此界面簡化了蝕刻和濺射過程,有助於使該系統成為最有效的離子銑削和濺射處理工具之一。