二手 LAM STRATA-3 #9311457 待售

LAM STRATA-3是一種離子銑削設備，使研究人員能夠在可靠、可重復的過程中生產出厚度均勻性極好的介電、金屬或半導體薄膜。它是脈沖射頻和直流濺射過程的理想選擇。此系統設計用於產生長寬比大於0.15：1的圖案、凹槽或通孔,其中通過/打開寬度大於通過/打開厚度。它有兩種不同的離子源：高電流30+kV電弧離子源和高電流直流離子源。它還包括一個內置的端點檢測單元，幫助精確控制離子濺射。STRATA-3離子銑床由工藝室、樣品輸送、閘閥和排氣閥組成。該工藝室是由鋁和不銹鋼制成的真空室，可用於濺射高達6英寸的晶片，底物溫度在-260°C至+263°C之間。它非常適合於介電、擴散屏障和銅種子層的沈積，以及等離子體蝕刻等其他過程。樣品轉移是一種用於有效控制離子銑削過程的自動化轉移工具。它包括一個溫度監視器與可調加熱器用於控制基板溫度.最後，閘門和排氣閥能夠精確控制資產的壓力。LAM STRATA-3離子銑削模型使用戶能夠創建各種難以或不可能用其他蝕刻技術實現的圖樣和特征。該設備能夠精確控制蝕刻過程,以實現所需的輪廓形態,並提供更大深度的特征。此外,對蝕刻深度的精確控制有助於材料工程師確保薄膜能夠承受所需的特定環境。該系統的一些主要特點包括高達2000 μ米/小時的快速蝕刻速率、微米級蝕刻輪廓的可重復性以及對蝕刻深度和尺寸的精確控制。此外，它還為高壓30+kV電弧離子源增加了一個模塊，可以在沒有閘閥的情況下進行濺射。