二手 OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus #293768259 待售

OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus
ID: 293768259
晶圓大小: 4"
Ion Beam Etching (IBE) system, 4".
OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus是一款先進的離子銑削設備,設計用於精確的表面納米結構。該系統是為容納包括矽、玻璃、金剛石、藍寶石和其他寬帶間隙材料在內的一系列可選基板而構建的。它具有全自動的刀架,優化的光刻以提高屈服均勻性,並具有寬闊的腔室面積,可調節深度和可調節角度,用於精確的工藝控制。該單元還可兼容各種銑削應用,包括蝕刻、沈積薄膜和創建微陣列。Ionfab 300 Plus利用精確的等離子體測量面密度和能量分布,以確保對離子束的全面控制。它有一個離子源,能夠產生5-200 eV範圍內的低能離子束,電流高達10 mA。該機還具有一個可調節的離子光學封裝和一個離子光柱,有助於保持均勻穩定的離子束,以達到最佳的銑削性能。該工具還配備了先進的自動化階段,這些階段能夠進行精確調整以創建高精度的模式,以及熱接近度調整以進行精確處理。此外,OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus具有植入前註射階段,允許精確的薄膜沈積和離子植入。它包括一個高分辨率的成像資產,可以達到高達1 nm的分辨率,能夠調整劑量大小,在多個底物水平上提供均勻的結果。該模型還與真空協議兼容,以確保真空兼容過程和延長銑削時間。OxfordsIonfab 300 Plus是從事先進微觀和納米結構表面結構研發的人士的理想選擇。它采用了用戶友好的軟件設計,使其在不影響準確性或性能的情況下極易設置和使用。該設備是任何實驗室的寶貴補充,具有先進的工藝能力,可實現更高的控制、準確性和產量均勻性。
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