二手 OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC #293718221 待售
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OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC是一款尖端離子銑削設備，旨在為半導體制造、材料科學等相關行業的薄膜沈積和蝕刻工藝提供先進的能力。離子銑削是一種多用途的技術，用於通過用高能離子轟擊基板來精確蝕刻和繪制納米尺度的材料。Ionfab 300LC系統的核心是一個強大的離子源，它產生具有受控能量和方向性的離子，用於精確的材料去除。該單元提供了範圍廣泛的離子種類選擇，包括稀有氣體，如氙氣，以及氧氣和氮氣等反應性離子，使用戶可以量身定制離子束成分，以匹配正在加工的特定材料。OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC配備了先進的光束轉向機，能夠對樣品表面上的離子束位置和掃描圖樣進行高精度控制。這種能力對於實現均勻和選擇性的材料去除至關重要，對於制造復雜的圖案和具有高長寬比的結構至關重要。Ionfab 300LC的一個主要特點是它的多用途采樣階段，它允許在離子銑削過程中精確定位和旋轉基板。這使用戶能夠在大面積基板上實現均勻的蝕刻輪廓,並以高可重復性和準確性執行復雜的蝕刻幾何形狀和多步處理序列。該工具還配備了先進的過程監測和控制能力，以確保最佳的過程穩定性和可重復性。實時反饋機制，如光發射光譜（OES）和離子束電流測量，提供了對過程動力學的寶貴見解，並允許原位過程優化，以實現所需的蝕刻速率和選擇性。此外，OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC提供了一系列自動化和軟件集成選項，以簡化操作和數據管理流程。這包括基於配方的編程,以便於流程設置和參數優化,以及遠程監視和控制功能,以提高資產靈活性和生產率。在安全性和人體工程學方面，Ionfab 300LC設計具有互鎖和屏蔽機制等用戶友好功能，以保護操作員不受電離輻射和高真空環境的影響。該模型還符合實驗室和潔凈室環境中安全操作的行業標準和法規。總體而言,OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300LC離子銑削設備代表了精密材料加工應用的最新解決方案,為廣泛的研究和工業應用提供了先進的功能、高性能和用戶友好的操作。它的多功能性、可靠性和效率使其成為實現各種材料的精確蝕刻和圖案化的理想工具,並具有納米級精度和控制力。
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