二手 OXFORD Ionfab 300 Plus #9261769 待售
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ID: 9261769
優質的: 1994
Ion Beam Etching (IBE) system
(4) Mass Flow Controllers (MFC)
Targets, 4"
Argon to mill metal layers on silicon wafers
Etching gun: 15 cm
Gun: 3 cm
Tooling, 8"
Upgraded motor controller
Manual
1994 vintage.
OXFORD Ionfab 300 Plus是一款靈活、高性能的離子銑削設備，旨在為金屬、化合物、半導體等多種材料提供快速可靠的微結構解決方案。它非常適合各種精密工藝，如芯片制造、電阻修剪、隔離蝕刻和去除損壞。該系統的結構和設計使其能夠快速準確地控制單層和多層基板和材料的厚度和輪廓,從而在比傳統離子銑削系統更長的工作距離內提供更高水平的精細特征定義。Ionfab 300 Plus使用全氣體輔助源，允許其陽極和陰極電極的磨損減少高達65%。這有助於延長機器的使用壽命,從而延長生產周期,降低維護成本。該單元的內部組件高度定制。其電子源提供了一種沒有危險參數的高能束，使用離子束發生器進行低成本、低壓力束。其腔室控制機提供了對真空室環境狀態的控制，以及工藝氣體流向基板的控制。該工具還利用自動真空控制器和泵的資產來維持腔室內的真空環境。這樣可確保模型在最佳溫度下運行,以產生最高質量的結果。OXFORD Ionfab 300 Plus由先進的設備自動化軟件平臺提供動力，允許對整個系統進行直接控制和監控。直觀的用戶界面允許技術人員和操作員快速創建和分配復雜的流程配方，以及實時監控單元性能。Ionfab 300 Plus還具有多項安全功能,可確保操作員和工作環境保護。它符合多項國際安全標準，並且在發生任何過程錯誤時配備了廣泛的報警機。總體而言,OXFORD Ionfab 300 Plus是尋求可靠、通用且經濟高效的離子銑削解決方案的用戶的絕佳選擇。憑借其先進的組件、高度可定制的設計和強大的自動化平臺,它非常適合任何微結構應用程序。
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