二手 PHILIPS / FEI DB 830 #9121001 待售

PHILIPS/FEI DB 830是一款設計用於先進材料加工的多功能離子銑削設備。在執行涉及從基板表面去除材料的各種任務時,它提供了卓越的性能、準確性和可靠性。FEI DB 830設計有一個源-靶柱，能夠與多種離子一起操作，包括氙氣（Argon）、氙氣（Xenon）、霓氣（Neon）。它配備了能提供高達8 keV的高離子能源和一個用於精確過程控制的旋轉偏轉器。該系統設計為在真空環境中運行，由高壓電源供電。PHILIPS DB830的主要應用是離子銑削，這是一種用於塑造和去除基板表面材料的工藝。該單元包括一個可容納目標、槍和光束光學器件的銑削室。可以將各種各樣的銑削軌跡編程到機器中,使其能夠銑削平面、曲面和復雜的3D形狀。DB830還能夠進行蝕刻，這是一個涉及從基板表面選擇性去除材料的過程。蝕刻是通過利用離子束在基板表面上創建圖樣來進行的。該工具還具有自動聚焦模式，使其能夠在不同深度蝕刻時自動重新聚焦離子束。FEI DB830可使用多種配件，如液氮冷卻屏蔽層保護基板免受離子束的侵蝕，或實現更快處理時間的脈沖離子束蝕刻模式。該資產還具有廣泛的光束過濾功能,可以精確控制所創建模式的結構。總體而言,PHILIPS/FEI DB830為材料處理提供了全面、高度先進的解決方案。它擁有廣泛的離子束源、強大的光束光學器件和配件，是任何需要從表面去除材料的應用的理想選擇。