二手 PHILIPS / FEI DB235 #293616080 待售
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ID: 293616080
優質的: 2002
Scanning Electron Microscope (SEM)
(2) GIS
Detectors: SED, TLD, CDEM, STEM
2002 vintage.
PHILIPS/FEI DB235是一種離子銑削設備，設計用於微電子元件的精密表面拋光（或「濺射」）。該銑削系統利用高度聚焦的離子束來去除表面的微量缺陷,而不會損壞底層材料。離子束由離子源產生，離子源耦合到真空室。為了控制離子束的大小和形狀，真空室入口處安裝了可調孔徑板。離子束由一系列透鏡聚焦和引導，產生直徑通常為5微米或更小的細光束。使用這種設備，零件可以精密地銑削到1微米或更高的範圍內。銑削單元的編程允許用戶調整濺射深度、離子方向和濺射速度。可以調整銑削條件，從而實現精細或粗糙的拋光。此外，在FEI DB235機上，可以調整離子源功率以改變光束能量，以適應不同的基板和缺陷去除模式。該工具配備了多項安全功能。安全快門可確保光束在不使用時不活動。腔室內的自動清潔設備會定期擦洗內表面,確保在銑削過程中汙染不會輕易轉移到元件上。PHILIPS DB 235型號是許多微電子應用的理想選擇，包括生產高密度集成電路和MEMS。該設備已被證明是精密銑削和表面拋光的經濟高效的解決方案，因此可用於研究和工業環境。
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