二手 PHILIPS / FEI Strata 400 #9207984 待售

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ID: 9207984
晶圓大小: 12"
Focused ion beam system, 12" Type: PW 2045/31 Includes: OXFORD 7455 EDS Omni probe.
PHILIPS/FEI Strata 400是一種離子銑削設備,用於制備用於納米加工應用的樣品。該系統由兩個基本組件組成:Strata控制控制臺和Strata處理器。Strata Control Console是一個高級的、基於觸摸屏的界面,允許用戶處理流程參數。Strata處理器是一個高性能的銑削和蝕刻單元,它包含三個獨特的組件:銑削頭、真空室和蝕刻源。FEI Strata 400的銑削頭具有先進的設計,可產生最小的振動並在低噪聲水平下運行。它由高檔鋁合金構成,顯著增加了剛度和散熱特性。銑削頭還配備了一個可互換的特定於功能的主軸,可以根據應用程序根據需要將其切出。PHILIPS Strata 400的真空室是一個壓力密封的外殼,以保護使用者免受環境的影響,從而提高安全性和準確性。腔室裝有一個高精度操作的鎖載端口門,使工藝溫度和環境保持在10 x 10mm的精確範圍內。此外,真空室還配備了室內、手動晶片加載能力,以及用於傳輸大型晶片的外部負載鎖定端口。最後,Strata 400的蝕刻源是真空依賴源。該源提供了一種高質量、高精度的蝕刻梁,根據給定應用的需要進行調整。蝕刻源的高空間分辨率功能允許以非常高的精度形成細膩的3D結構。總體而言,PHILIPS/FEI Strata 400是一種領先的用於納米加工應用的離子銑床。其先進的部件,如銑頭、真空室和蝕刻源,結合起來提供了一個高度可靠、低振動、低噪聲的環境。由於這些功能,FEI Strata 400在用戶幹預最少的情況下產生了高精度結果。
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