二手 PHILIPS / FEI Strata 400 #9302302 待售

PHILIPS/FEI Strata 400離子銑削設備是一種用途廣泛、功能強大的蝕刻工具，用於制造復雜的微電子器件，如晶體管和微處理器。FEI Strata 400具有三軸電動運動控制系統，為基板和離子束提供簡便準確的定位。離子束能量從0伏可調至300伏，並與高達20毫安的可調離子束電流耦合。使用三軸運動控制單元，可以將基板精確銑削到幾納米的厚度。PHILIPS Strata 400配備了可以了解各種3D模式和其他結構尺寸的模式識別機。它還可以區分不同的材料，能夠精確檢測最高點，以便精確研磨高長寬比特征。此外,Strata 400還包括一個閉環致動工具,它允許對離子束電流進行微調以獲得精確的靈敏度。PHILIPS/FEI Strata 400離子銑削資產有多種氣體輸送系統，以氧氣為主要蝕刻氣體，以氯氣、氟氣、六氟化硫和氙氣為附加蝕刻氣體。它還具有可調氣體流速，用於控制各種氣體在基板上的流動，可調節時間/持續時間控制，以精確蝕刻出精確數量的材料。FEI Strata 400自帶內置自動化模型，包括自動化基板裝卸、腔室清洗、真空泵維護等操作的軟件。該設備便於安裝和操作蝕刻過程,以及在出現問題時進行錯誤處理。PHILIPS Strata 400離子銑削系統是一種功能強大且可靠的工具,可用於各種應用的精確結構。它結合了精確運動控制、可調光束能量、模式識別技術、氣體輸送系統和自動化，是生產復雜納米級電子器件的理想工具。