二手 PHILIPS / FEI Strata DB235 #293614693 待售
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PHILIPS/FEI Strata DB235是一種離子銑削設備,專為半導體和其他器件材料的詳細、高分辨率銑削和拋光而設計。它具有一個高度可靠的直接驅動振動納米磨機以及一個獨特的拋光站,它結合了先進的下力傳感技術。該系統能夠實現極其精確的納米級銑削和拋光,特別是對於具有挑戰性的基板和需要高密度設計規則的各種材料。該單元提供了多種選擇的工具,如離子束、等離子體增強離子束、動態銑削頭和拋光工具,用於各種應用,如電子束、光學光子學和MEMS設備。FEI Strata DB235由FEI業界領先的等離子體處理器提供動力,該處理器提供自動化的等離子體生成過程,以修改離子束特性以及蝕刻和拋光樣品表面。在選擇適當的等離子體參數時,這一過程是專門考慮樣品特異性材料特性的。先進的原位等離子體診斷功能允許用戶觀察主動離子銑削過程,監控離子束質量,並根據需要調整束參數。PHILIPS STRATA DB 235設計具有板載圖像捕獲和顯示功能,可在廣闊的視野中實時查看樣品表面。它與自動微型機械手相結合,支持手動調整銑削參數,並支持自動移動微池以進行定位、對準和掃描。獨特的「主動」真空機允許極低的真空水平進行銑削,提高銑削速度和深度,減少材料變形和應變。該工具配備了一個氣體註入資產,用於研磨和蝕刻硬質材料。為保證安全運行,Strata DB235構建了一系列安全功能,如互鎖系統、火花指示燈、壓力表、溫度傳感器和嵌入式碰撞防護系統。
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