二手 PHILIPS / FEI XL 865 #9284883 待售
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ID: 9284883
Focused Ion Beam (FIB) System
Dual beam
SIRION FEG Electron column
With Immersion lens
Magnum ion column
(2) Gas injectors
Stage, 8"
With loadlock
Robot for loading wafers
(2) Cassettes
Active vibration cancellation
EMI Cancellation.
PHILIPS/FEI XL 865離子銑削設備是一種用於精密離子銑削工藝的高分辨率低溫成像儀。該系統專為各種不同的銑削應用而設計,包括金屬、軟材料、硬材料、玻璃和陶瓷。FEI XL 865有一個精密的數字控制單元，允許自動化操作和過程監控。該控制機還用於過程優化和過程監控，以確保最佳性能。該刀具的最大分辨率為15nm，可高精度磨削高達1000微米深。該資產配有高功率的低溫離子源和腔室，便於在低溫下進行離子銑削。這樣可以防止工件熔化和損壞。為確保高銑削精度，該模型使用了能夠產生不同光束電流範圍的強大離子槍。該設備還包括各種配件，如腔室、大氣束望遠鏡和其他必要的部件。該系統配備了一個EDX--能量色散X射線單元，有助於分析離子轟擊下的材料。而且，它可以手動操作，也可以通過全自動自動化控制機器操作。該工具由真空室、離子槍陣列、冷卻資產、機械手和氣體入口模型組成。采用溫度控制裝置微調腔室溫度，達到最佳銑削效果。該系統還可以配置一個低壓高性能發射器，用於對材料進行比鈦更軟的離子銑削。PHILIPS XL 865有幾個安全特性，如高壓/限流截止、過流/溫度保護。還包括有效的緊急情況監測，以確保人員在行動期間的安全。XL 865離子銑床是一種功能強大且可靠的銑床，對銑削過程提供了很大程度的控制。它能夠在擴展的銑削深度上銑削各種材料,同時確保精度、準確性和安全性。
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