二手 PVA TEPLA / TECHNICS MIM TLA 20 #9071315 待售

ID: 9071315
Ion beam etcher.
PVA TEPLA/TECHNICS MIM TLA 20是一種離子銑削設備,用於通過在工件表面濺射目標材料來去除工件中的材料。該系統利用高分辨率離子束來仔細地逐層去除材料,以最小的幹擾和較低的工作溫度。該單元能夠產生能量範圍為8 keV至40 keV的聚焦離子束,其光束大小小至0.05 μ m,由專用光束控制和轉向單元控制。該機還包括控制電子設備,以改變和調整梁參數,允許精密控制銑削過程。TECHNICS MIM TLA 20采用標準數字信號處理單元(DSPU)和PLC工具設計,可用於精確控制工藝參數,獲得精美效果。此外,該資產還具有直觀的圖形用戶界面(GUI),用於操作員控制。該型號還具有一系列的特點,如高精度電動機最大可重復性。精確的精確度超過50 nm可以在一個步驟中實現。基於真空的處理可以減少表面汙染物的損壞和存在。PVA TEPLA MIM TLA 20還具有一個用於PVA沈積的沈積室,同時還引入了氮氣和氧氣,以實現最佳的表面制備和清潔。該室還允許定制工藝參數以及材料的預處理和後處理,從而優化蝕刻工藝。而且設備還包括各種安全功能,如機械門互鎖、緊急停止系統、鑰匙鎖等。這些安全措施確保機組始終安全運行。MIM TLA 20是一種高度精確可靠的離子銑床,適用於各種應用,範圍從表面光潔度的改進、薄膜的去除、微細加工。高精度的離子束生成和直觀的用戶界面使其成為滿足高級銑削需求的理想選擇。
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