二手 SHIBAURA BF-13A #145929 待售
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ID: 145929
Floor-type Horizontal boring mill
Spindle Diameter: 5.12"
Spindle Taper: No. 50
Column Travel (X-Axis): 234"
Vertical TRavel of Headstock (Y-Axis): 98"
Spindle Travel (Z-Axis): 35"
Spindle Speeds: (24) 4 - 800 RPM
Feeds: (24) 0.0013" - 0.2205" / Rev.
Equipped With:
3-Axis Digital Readout
Pendant Control
240" x 120" Floor Plate
50" x 60" Manual Rotary Table with Air Lift.
SHIBAURA BF-13A是一種離子銑削設備,用於精密材料去除和蝕刻。適用於多種應用,包括半導體和MEMS制造、深度蝕刻等納米加工任務。該系統利用強大的高能Ar+離子束,將目標對準基板以侵蝕表面,從而能夠精確去除材料。離子束的定向使用了多達830W的靜電和磁場,允許精細控制光束的軌跡。該裝置能夠實現高分辨率蝕刻,深度可達500納米,寬度可達200納米。這是由於Ar+離子束的近束擴散和速度,可以用機器的電荷和空間數字電壓表來調節。BF-13A還提供一系列安全功能,包括氣體進氣機和緊急停止和聯鎖等安全系統。此外,它還采用閉環反饋工具,提供精確的光束能量控制。資產可以持有多種材料,陶瓷、玻璃、金屬等多種建築材料都適合。它還設計了一個符合人體工程學的控制面板,允許易於輸入參數和使操作快速和簡單。總體而言,SHIBAURA BF-13A是一種先進的離子銑削模型,設計用於精確的材料去除和蝕刻。它具有強大的高能量Ar+離子束,結合系統精確的控制功能和安全系統,可實現精確、深蝕刻和精細材料去除。
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