二手 US STONEWARE 75 3RM #93375 待售

美國STONEWARE 75 3RM離子銑削設備是一種先進的半導體制造工具，用於單深和多深操作模式下的精密控制表面蝕刻通信。離子銑削系統由兩個基本部分組成。首先是電源，它包括一個可編程頻率範圍從5 MHz到75 MHz，最大功率輸出為75 kW的感應源。第二部分是離子配電單元，它由一個裝有高壓氙氣的鋼外殼、一組孔徑和一個九向電源配電機組成。Stoneware 75 3RM采用12面可變深度銑削工藝,允許用戶優化其蝕刻工藝,以實現更深或更淺的蝕刻效果。它具有焊接的兩件式旋轉頭，卡盤速度可調，能夠達到4.25毫米的最大蝕刻深度。該工具有一個外部氣體噴射器，氣體流量為每分鐘0.5-3.0升（L/min），以及一個6 x 100 mm的孔徑板。銑削板是可調的，能夠進行可變深度控制，以達到最佳的蝕刻深度。為了實現最佳的離子銑削工藝,用戶必須利用正確的氣體、壓力和流過卡盤的電流混合。該資產具有在離子銑削過程中提供Ar、Xe以及Ar和Xe氣體的混合物的能力。這些氣體被註入外殼，穿過一組孔徑，直到到達卡盤。為了最大限度地提高產量,Stoneware US STONEWARE 75 3RM包括多種安全功能,可幫助降低在蝕刻過程中發生機器故障或損壞的風險。例如，該型號在140 A的過電流下有一個自動電源關閉，以及一個兩級、高低電流精度的設備。系統還包括一組能檢測短路故障、氣體泄漏和真空壓力的傳感器。總體而言,75 3RM離子銑削裝置是一種先進的、經濟實惠的半導體制造工具,用於蝕刻工藝,為用戶提供了以其他方法無法比擬的速度和精度生成優質蝕刻表面特征的能力。這臺機器的設計目的是提供客戶從美國STONEWARE獲得的可靠結果。