二手 VEECO 350 #9119090 待售

製造商
VEECO
模型
350
ID: 9119090
晶圓大小: 8"
Ion Beam Deposition (IBD) system, 8" With AVP Control system (6) Targets Single loader.
VEECO 350是一種可變能量離子銑削設備,設計用於對精確的亞微米表面和結構的制備提供精確的控制。它利用多頻離子源,創造出一個範圍從0到350 keV不等的不同平面角度離子束能量。這允許用戶有選擇地從樣品的特定區域移除材料,控制表面地形和結構特征。VEECO 350允許用戶選擇從6度到88度的迎角,從而實現8nm以下的所需特征大小,從而完全去除特定材料厚度。高通量自動噴槍系統可實現大面積銑削,允許同時塗覆多個具有高重現性的樣品。保護膜塗層也可以塗在樣品上。這種集成單元可以將離子集中到正負能量中,從而提高定向銑削精度。350的各種集成配件可以加入,以提供不同的離子銑削結果,包括濺射蝕刻和化學氣相沈積(CVD)膜。離子束源還包括多個特點,以提供精確的離子束控制和增加樣品穩定性。機器可以在超高壓或基壓下操作。各種離子可用於沈積或銑削,使用戶能夠獲得所需的銑削結果。刀具的窗口還允許以最小的汙染來銑削真空兼容樣品。資產使用圖像調查技術讀取和分析樣本,讓用戶快速準確地確定基板的組成和厚度。VEECO 350具有多軸自動化功能,允許對各種樣品進行定制的快速、可重復的銑削過程。總體而言,350使用戶能夠精確控制各種基材的離子銑削結果。它的靈活性、準確性和自動化特性使其成為制造先進納米結構和亞微米曲面的強大工具。
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