二手 VEECO C-1 MicroEtch IBE 350 #9300433 待售

VEECO C-1 MicroEtch IBE 350是一種離子銑削設備，設計用於半導體和薄膜器件的蝕刻和結構設計。該系統是一種全自動的、生產就緒的離子束蝕刻工具，能夠蝕刻多種基材，包括多晶矽、矽、鈦。配備了最先進的光譜離子源，離子束密集，精確控制軌跡、精度、均勻性。C-1的創新離子源旨在優化離子束軌跡，允許對蝕刻深度和精度進行一流的控制。它具有優化的可重復運動單元，可最大程度地減少熱漂移並提供連續和均勻的蝕刻速率。先進的軟件提供對機器設置的集成控制,允許對蝕刻參數和工藝條件進行實時調整。C-1的設計考慮到了安全性。它具有獨特的真空密封室，提供高水平的離子安全殼，以確保在當地安全要求範圍內運行，並盡量減少輻射暴露。先進的安全工具還包括額外的安全和監測系統，包括壓力和溫度傳感器。操作人員的健康和安全通過良好的衰減特性得到進一步的保證，這種特性可以方便操作，而不會對操作人員造成巨大的噪音或有害物質暴露。C-1 MicroEtch IBE 350是為商業用途開發的通用、可靠、高效的離子銑削資產。它具有各種先進的安全特性和尖端的光譜離子源，旨在使性能最大化。它能夠以精確和可重復性的方式有效地蝕刻基板，使其成為半導體和薄膜器件精密蝕刻和結構化的理想解決方案。