二手 VEECO / DEKTAK RF 350 #9091368 待售
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ID: 9091368
Ion Beam Etcher (IBE)
Brooks five sides TM with VTR5 Robot
VCE 4 Loadlock
TM Computer control rack
PM control rack with all power supplies
Main power distribution box
Nestlab Chiller
QDP 40 Dry pump
Software
Process module includes:
Fixture with 200mm
RF350 1 zone grid assembly
Quartz set
Filament cathode
Mag 2000 analog turbo pump package
Vat Hi-valve
IQDB 40 Pump
Chamber liners and fixture
Shielding set.
VEECO/DEKTAK RF 350離子銑削設備用於提供一種從工件表面去除材料以創建光滑表面的手段,通常是為了提高工件的電性能。此過程通常稱為表面銑削或離子銑削。VEECO RF 350是一種高精度、高分辨率的儀器,設計用於以恒定的光束電流快速、精確地去除材料。DEKTAK RF 350利用具有廣泛角度掃描路徑的離子束。離子束通過電子中和過程產生,由靜電透鏡限制。然後,按操作員可以設置的預定義陣列掃描梁,從而可以精確控制銑削過程。而且,可以改變梁的大小,以提供材料去除和表面光潔度之間的最佳平衡。RF 350配備了真空室,為離子銑削工藝提供低壓環境。這有助於減少大氣氣體汙染的數量,這往往會導致無法預測的銑削結果。VEECO/DEKTAK RF 350的腔室也有助於減少離子束造成的熱損害量。VEECO RF 350具有可變電壓電源,可用於控制離子束的電流和能量。這有助於為各種物料去除要求提供最佳工藝。此外,該電源還可用於控制離子束的溫度以及銑削壓力。最後,DEKTAK RF 350配備了數字控制系統,可以精確控制銑削過程,以達到預期的效果。此控制單元提供了廣泛的參數,例如光束大小、焦點和掃描時間,這些參數可以根據應用程序進行調整。通過使用RF 350,您可以實現一致的高質量完成,而無需花費大量時間或精力。這是由於其快速的掃描時間和數字控制機器,這使得它非常適合產生一系列的結果以最小的努力。此外,VEECO/DEKTAK RF 350還能夠生產出高精度和表面光滑度的多種材料。
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