二手 VEECO / DEKTAK RF 350 #9235881 待售

VEECO/DEKTAK RF 350是一種高精度的自動化離子銑削設備，設計用於生產各種應用的超薄基板。該系統集成了自動化樣品制備、離子槍和/或蝕刻元件、控制電子等先進功能。這樣可以精確控制銑削角度、光束能量和曝光持續時間,從而在生產纖薄基板時實現無與倫比的精度。基板安裝在機器中，並且在基板上方放置一個光刻定制的面膜。離子槍產生一束細細聚焦到點狀點的離子束。然後，該光束以一系列精確形成的角度轟擊基板，這些角度經過校準，可以在所需平面上銑削基板。當離子撞擊基板時，它們會在基板表面蝕刻，從而實現所需零件的幾何形狀。精細調整離子能量和光束偏轉，以控制銑削過程的速度和精度。VEECO RF 350的離子槍可以生產替代蝕刻速率材料，如金屬甚至矽，以及特種離子槍組件和蝕刻組件（陰極、屏蔽和/或提取器）。此外，該單元能夠調節腔室及其環境的溫度，允許精確的環境控制，以減少離子束擴散的影響。基材可以高精度、高精度地切割，產生所需的圖案。DEKTAK RF 350也可以集成到盒式到盒式機器中，同時處理多個基板。這進一步提高了切割工藝的總體準確性和效率。高級特性、精確控制和靈活性的結合使RF 350成為在各種精密程度最高的基板上進行離子銑削的理想選擇。它的準確性、速度和質量使其成為那些需要堅固、高品質的纖薄基板的人的絕佳選擇。