二手 VEECO IBD 210 #9225782 待售
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已售出
ID: 9225782
優質的: 1998
Ion beam deposition system
Chamber turbo: ALCATEL ATH 2300 M
LL: ALCATEL ATP 150 C
Spare parts:
Qty / Description
(5) / MFC FC-2900V-4V, 50 sccm N2
(2) / Coating sources (Domed, 3E SPG2)
(2) / MFC FC-2900V-4V, 10 sccm N2
(1) / Cladding set VEECO 2, (14) parts
(2) / MFC FC-2900V-4V, 100 sccm N2
(1) / MFC FC-2900V-4V, 20 sccm N2
(1) / PC Power supply FSP Fortron SPI-300G(PF)
1998 vintage.
VEECO IBD 210是一種高度通用的離子銑削設備,可為各種應用提供卓越的性能和可靠性。適用於各種材料的銑削,從奇特的金屬到未測量的半導體基材。該系統采用旋轉波技術和強大的離子束註入裝置,對高縱橫比特征進行精密、精確的銑削,幾乎沒有工件損壞或變形。IBD 210是高端應用的理想選擇,例如創建MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)結構、薄膜沈積蝕刻或檢索透射電子顯微鏡樣品。VEECO IBD 210擁有一個靈活的、易於使用的界面,直觀且用戶友好,允許用戶快速設置復雜的銑削任務,而無需進行最少的手動幹預。它具有一個龐大的工具庫,允許用戶存儲與每個組件或示例關聯的所有參數,並具有高度的自動化,以確保在較長時間內保持一致的操作。該機還能夠以特定的層層方式編程材料銑削和蝕刻的高級策略。IBD 210配備了精確、高分辨率的離子束註入工具,能夠可靠地、精確地產生具有均勻表面端接和對底層材料最小變形或損壞的銑削過程。該資產與各種銑削氣體兼容,包括Ar和O2,並且可以以增加的沈積速率脈沖銑削。最先進的控制模型包含所有必要的電源和流量控制器,每次都會產生幹凈、一致的銑削結果。VEECO IBD 210的先進儀表設備允許與現有基礎設施輕松集成,並包括廣泛的硬件和軟件選項,如VEECO離子束源、VEECO室內渦輪抽水系統和VEECO樣品掃描單元。IBD 210為精密銑削工藝提供了可靠、高效的解決方案。其先進的技術能力,加上高度自動化,使其成為要求可靠和精確銑削結果的要求苛刻的應用程序的理想選擇。
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