二手 VEECO IBD / IBE #9313137 待售
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已售出
ID: 9313137
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(2) CRU CD ROM Main / Backup drives
DC Power supply
(2) Cryo On Board controls
(2) Turbo power supplies
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RF Power supply
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(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
Electrical cabinets
(2) EDWARDS QDP40 Vacuum pumps
EDWARDS IQDP80 Vacuum pump
POLYCOLD PFC-1100LT Cryogenic refrigeration unit / Chiller
DAYTON Overhead hoist with rail
Pendant.
VEECO IBD/IBE是一種離子銑削設備，用於平面化、減法蝕刻和設備測試應用。該系統旨在實現離子能量和通量的精確、超精細控制，以達到盡可能高質量的結果。它具有高度優化的光束組件和線性控制器，允許用戶微調離子束參數以獲得最大的蝕刻深度和均勻性。IBD/IBE的核心是場發射電子槍，產生寬廣的高能離子束，可以聚焦加速到底物。光束一旦到達基板，就會產生平面化效應，用於平整地形表面結構。VEECO IBD/IBE還具有精確控制蝕刻深度的能力，即使在復雜的3D特征上也能提供均勻的蝕刻速率。該單元的線性控制器能夠產生光滑、可調的光束參數，使用戶能夠微調光束以獲得最佳蝕刻特性。VEECO高級梁優化過程確保結構的整個地形被平整，而不會對相鄰特征造成橫向地形損傷。除了平面化和減法蝕刻，IBD/IBE還可以用於多種設備測試應用。它的可變光束功率允許用戶精確地執行電流與電壓和溫度的對比測量。機器還包括幾個精確的運動控制選項，使精確的設備測試操作。總體而言,VEECO IBD/IBE是一種高級離子銑削工具,旨在實現對光束參數和運動控制功能的高度精確控制。它是平面化、減法蝕刻和需要高精度的設備測試操作的理想工具。
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