二手 VEECO Ion beam etcher #9215143 待售

VEECO離子束蝕刻器,也稱為離子銑削系統,是一種蝕刻工具,它使用聚焦的離子束從基板或工件表面去除材料。這樣做通常是為了在工件的表面上創建陣列或結構。離子束是使用電場產生的，電場將離子加速到工件表面。然後使用準直器聚焦離子，確保光束具有精確的形狀。離子束蝕刻器由幾個組分組成,這些組分一起工作以產生所需的蝕刻效果。首先，高壓發電機為產生離子束的電場提供能量。然後連接到離子源，這可以是蒸發或振動源，這取決於所使用的材料。然後在離子源和底物之間放置束收集器，以收集任何不指向底物的離子，從而限制系統中其他成分的暴露。蝕刻過程可以通過改變施加在電場上的電壓來控制。這反過來改變了離子的能量和速度，允許對底物進行更詳細的蝕刻。光束收集器也可以移動以改變光束大小和強度，進一步允許發生更精確的蝕刻。VEECO離子束蝕刻器是一種高效、精確的各種表面蝕刻工具。它能夠產生非常細小的結構，使其成為表面計量、半導體器件加工和MEMS器件制造的理想選擇。它也是許多應用程序的經濟高效的解決方案。