二手 VEECO / ION TECH MPS-3000 HC #9196218 待售

ID: 9196218
優質的: 2010
Ion gun power supply P/N: 6700-010 3-1500-100 3CM beam diameter ion source Cable and power feed through Neutralizer with cable Interlock and probe cables Spare parts included 2010 vintage.
VEECO/ION TECH MPS-3000 HC是一種高度先進的離子銑削設備,用於各種微加工應用。該系統有效地在微觀尺度上蝕刻材料,創建納米尺度的結構、形狀和其他特征。VEECO MPS-3000 HC是各種半導體和機械加工應用的理想選擇。這項先進的技術提供了卓越的離子切割能力,並產生優異的效果.ION TECH MPS-3000 HC具有高光束電流密度,並配有一個切割單元,其中兩個獨立的切割頭以旋轉運動方式移動。該機可精確蝕刻尺寸低至1 µm的特征,並具有高分辨率。為了保證精確準確的結果,離子束在框架速率非常快的情況下被緊密聚焦和循環。此外,該工具還配備了幾個階段,每個階段都可以配置為應用不同的材料、蒙版和蝕刻參數。資產還包含若幹安全功能。離子束在到達晶圓之前經過調節和散射,使晶圓溫度在加工過程中最小化。端站采用自動晶片處理模型,能夠檢測晶片上的錯位,設備自動補償任何錯位。這樣可以防止損壞晶片或系統的其他部分。MPS-3000 HC還提供一系列過程控制功能。用戶可以從遠程位置向設備發出命令,並且可以使用各種控制參數進行自定義。此外,該機器還提供實時監控和數據日誌解釋,以實現精細的流程調整。這有助於在長時間的生產運行中保持刀具性能。該資產還提供了廣泛的用戶友好功能。其直觀的GUI界面使其易於理解和導航,模型提供了清晰的教程和維護支持。此外,設備還配備了安全遙控器,允許用戶從遠程位置訪問系統數據。總體而言,VEECO/ION TECH MPS-3000 HC是一種先進而強大的離子銑削設備,用於各種微加工應用。其切割能力、精確控制和安全特性為各種半導體處理任務提供了優異的效果。
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