二手 VEECO ME-1001 #9236813 待售

製造商
VEECO
模型
ME-1001
ID: 9236813
晶圓大小: 8"
Ion beam milling system, 8" Argon plasma for microelectronics patterning Water cooled substrate holder.
VEECO ME-1001是為高精度表面處理而設計的離子銑削設備。其專利表面處理系統非常適合半導體和醫藥應用。這個單元允許極其嚴密的粒子控制,不可能有灰塵或碎片顆粒汙染機器。它結合靜電場、高精度表面處理和高性能真空工具,提供嚴格的過程控制。ME-1001是一種全自動大孔銑削資產,具有高度精確和均勻的表面處理水平。它使用高壓下的電離氣體作為銑削介質,通常稱為離子銑削。這使得它優於傳統的幹磨料系統。VEECO ME-1001模型具有進料室、離子銑削室和離子端沈積室。它還具有強大的真空設備,以確保清潔,安全和一致的操作。ME-1001采用先進的加速器設計,采用接地陽極來產生二次電子,從而實現均勻的表面修改。此外,該系統還具有一個偏轉單元,以保護樣品免受損壞。VEECO ME-1001還配備了突破性的風冷機,以確保細粒顆粒和高效的銑削操作。該工具配備了高度精確的反饋控制資產,包括監測端口、溫度傳感器和質譜儀,用於準確的過程監測。它還能夠控制樣品和電離氣體的溫度、樣品與離子源的距離、離子束能量和離子密度。ME-1001使目標表面紋理得到一致的實現,同時盡量減少人工幹預。它提供了高度的精確度和靈活性,允許處理復雜的形狀以及出色的可重復性。該模型非常適合需要光滑表面光潔度才能沈積薄膜的基材加工。總體而言,VEECO ME-1001是一種高級、高度精確和可靠的離子銑削設備,它提供了滿足客戶特定要求的靈活性。其優越的規格和優越的性能使得它成為高精度復雜形狀加工的首選。
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