二手 VEECO RF 350 #293822075 待售
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ID: 293822075
晶圓大小: 8"
Ion Beam Etcher (IBE), 8"
BROOKS MX500
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VEECO RF 350是一種先進的離子銑削設備,設計用於半導體和材料科學應用中的精密薄膜蝕刻和材料去除。該系統采用離子束轟擊的原理,有選擇地從基板上去除材料,從而實現高分辨率的圖樣化和無與倫比的精度控制樣品的稀化。VEECO的多功能能力RF-350使其成為研究、開發和生產過程中必不可少的工具,這些過程需要完美的表面形態和材料均勻性。RF 350的核心是其先進的射頻(RF)離子源,產生高能離子束,可以精確地指向樣品表面。這種離子束是由帶電粒子組成的,典型的是氙離子,它們攜帶著顯著的動能和動量,能夠通過物理濺射進行有效和受控的材料去除。射頻離子源具有優越的光束準直和穩定性,確保樣品表面均勻蝕刻,並能夠創建具有亞微米分辨率的復雜圖樣。RF-350離子銑削裝置采用復雜的腔室設計,為離子束蝕刻過程提供受控環境。該腔室配備了原地工藝監測和控制能力,能夠實時反饋和調整工藝參數,以達到最佳蝕刻條件。此外,該機器還采用了先進的真空和氣體處理系統,以維持所需的工藝條件並防止操作過程中的汙染。VEECO RF 350離子銑削刀具的主要優點之一是其卓越的工藝通用性和可擴展性。該資產提供了廣泛的離子束能量、電流密度和束直徑,允許用戶根據特定的材料特性和應用要求量身定制蝕刻工藝。此外,該模型的自動化樣品處理和定位功能支持對多個樣品進行高通量處理,使其成為快速原型設計和大規模生產環境的理想選擇。VEECO RF-350離子銑削設備配備先進的安全特性和聯鎖裝置,確保操作員在操作過程中的保護和系統完整性。該裝置設計符合離子束加工設備的行業標準,經過嚴格的檢測和質量控制措施,保證可靠一致的性能。此外,VEECO還提供全面的培訓和支持服務,幫助用戶最大限度地提高機器的功能,並在應用程序中取得最佳效果。總之,RF 350離子銑削刀具是精密材料蝕刻和薄膜加工的最先進的刀具,為半導體和材料科學應用提供了無與倫比的性能、多功能性和可靠性。憑借先進的離子源技術、精密的腔室設計和自動化的過程控制功能,RF-350使用戶能夠以卓越的精度和效率在薄膜陣列、設備制造和材料研究方面取得卓越的效果。
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