二手 VEECO RF 350S #293791454 待售
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單擊可縮放
ID: 293791454
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
Ion beam system, 8"
BROOKS AUTOMATION 003-9010-03
BROOKS AUTOMATION 001-2980-64
BROOKS AUTOMATION 001-7500-02 Robot
LEYBOLD HERAEUS TMP 260U Turbo pump
LEYBOLD HERAEUS TMP 260SG Turbo pump
LEYBOLD HERAEUS TMP 361C Turbo pump
Process module station 2:
Process: Ion beam etch
PFEIFFER / BALZERS TPH 2200U Turbo pump
RFPP RF20M RF Generator
SPELLMAN SL 1200 Power supply
SPELLMAN SL 300 Power supply
SORENSON DCS60-18E Power supply
SORENSON DCS600-1.75E PBN Power supply
MKS CT27A12TBC810 Pressure gauge
CONVECTRON Type 685
VAT 14048-PE44-AAL1/0014 Isolation valve
NESLAB HX-150 Chiller
Gas boxes:
Gas 1: Ar, 50 SCCM
Gas 2: O2, 50 SCCM
1999 vintage.
VEECO RF 350S是一種最先進的離子銑削設備，設計用於半導體、光學和研究行業的精密蝕刻和材料去除。這種先進的設備結合了尖端技術和堅固的結構,為各種應用提供高性能的離子銑削功能。VEECO RF 350 S利用離子束技術，以高精度和控制的方式選擇性去除基板表面的材料。該系統產生高能離子束，轟擊樣品表面，濺射原子和分子，實現精確蝕刻和圖樣。該工藝允許制造具有亞微米分辨率的薄膜、光滑表面和復雜圖案。射頻350S的關鍵特征之一是其先進的射頻等離子源，它能夠精確控制能量、密度和方向性等離子束參數。這允許定制離子束特性以適應特定的材料特性和蝕刻要求。該裝置還具有具有精確溫度控制的高真空室，為離子銑削工藝創造了最佳條件。RF 350 S配備了多用途的樣品級，可以容納各種基材尺寸和形狀，允許在樣品制備和加工上具有靈活性。該機支持批處理和單基板處理模式，實現了高通量的制造和研究應用。此外，樣品階段可以旋轉和傾斜，以實現整個基板表面的均勻蝕刻和覆蓋。為了精確的過程控制和監控，VEECO射頻350S配備了先進的軟件和自動化能力。用戶可以對離子銑削過程進行編程和排序，為離子束能量和通量設置參數，並監控實時過程數據，以確保一致和可重現的結果。該工具還包括內置的安全功能和診斷,以防止錯誤和優化資產性能。除了主要的離子銑削功能外,VEECO RF 350 S還可以配備可選附件以增強功能。其中包括用於實時過程監測的原位計量工具、用於反應性離子蝕刻的氣體註入系統以及用於快速樣品交換的鎖載室。這些附件進一步擴展了模型的功能，並實現了更廣泛的處理技術。總體而言,射頻350S離子銑削設備為半導體、光學和研究行業的廣泛應用提供了尖端技術、精確控制和多功能性。憑借其先進的特性、可定制的離子束參數和自動化能力，RF 350 S是實現精密蝕刻、薄膜沈積、表面改性、高精度和重復性的強大工具。
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