二手 VEECO VS 300 #70878 待售

VEECO VS 300是一種離子銑削設備，用於構造金屬和陶瓷等無機材料中的高長寬比輪廓。設計用於半導體和薄膜器件制造中的微型化和微型化等材料加工應用。該系統由離子束源、掃描儀單元、氣箱、真空室四大組件組成。離子束源產生針對樣品的高壓電勢，將離子從樣品表面釋放到腔室的真空中。離子轟擊目標樣品區域，使其表面燒蝕，留下所需的圖案或蝕刻特征。掃描儀確保離子束對樣品的精確和可重復定位。該工具由檢振掃描儀和一個聚焦透鏡組成，用於控制離子束軌跡的偏轉。氣體箱提供了一個受控的環境，以提供在基板上創建圖樣或蝕刻所需的不同氣體。氣體隨後被電離，生成為等離子體，然後進入真空室。真空室是密封的，除了允許查看樣品並連接到冷凍泵的腔室窗口，以保持與離子和基板相關的真空，以便對材料進行適當的燒蝕。VS 300專為金屬、半導體、陶瓷、薄膜等基板的圖案和蝕刻而量身定制。它有一個先進的光束電壓電位計安裝在它的腔室，允許與正在處理的特定材料相關的優化工藝條件。它能夠使特征尺寸從10nm到10µm,並達到5：1的長寬比。模式的大小也可以以可重復性和準確性快速調整和復制。此資產還提供其他功能,例如Model X+協議、Align X協議、使用外部提示生成並集中的字段以及模式生成器。總體而言，VEECO VS 300是一種可靠、可重復和精確的離子銑削設備。它是金屬和陶瓷等材料各向異性蝕刻和高長寬比特征銑削的理想選擇。該系統是各種設備制造、薄膜加工和MEM應用的最佳選擇。