二手 ADIXEN APR 4300 #9235406 待售
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ID: 9235406
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Wafer decontamination system, 12"
CIM: E84, SECS/GEM, GEM300
Main system:
Main mini environment Platform
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic arm drive assembly with wafer handler
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Rinse/Spin dry
(2) Load locks
(3) RF Generators, 1250 W
Auto WVDS controller
Accessories: Remote AC box
Main chamber:
Turbo pump: 1000ltr with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF match
(2) RF Generators
100 sccm CL2 MFC
50 sccm BCL3 MFC
300 sccm O2 MFC
30 sccm N2 MFC
1000 sccm N2 MFC
100 sccm Ar MFC
50 sccm He UPC
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Auto WVDS controller
2000 sccm O2 MFC
300 sccm N2 MFC
500 sccm H2O MFC With controller
Rinse/Dry: Spin dryer with vacuum chuck
2014 vintage.
ADIXEN APR 4300是ADIXEN品牌的耐用有力的實驗室設備及配件。該單元是雙隔膜真空泵與集成控制器的組合。它旨在滿足實驗室設備和配件的苛刻應用需求。APR 4300具有雙膜片真空泵和集成控制器，設計為即使在最苛刻的實驗室環境中也能提供可靠高效的操作。該裝置裝有1/4 NPT配件，最大抽水能力為8升/分鐘。它具有強大的1150W馬達和三級操作，並通過CE認證安全可靠的操作。該單元有一個內置的自測油霧排水口，延長了過濾器的壽命，並形式上減少了油霧。ADIXEN APR 4300具有彩色液晶顯示屏,顯示壓力和流量值,使用戶能夠輕松監控系統性能。該裝置設計為安全運行，並受到各種安全特性的保護。該單元具有IP 21C的保護程度,獲得UL批準,並具有隔離風扇電機、過載加熱、過載電流保護和隔熱防沖擊室。APR 4300配備了簡單易用的模塊化設計，使設置和維護方便用戶。該單元也輕巧緊湊，便於運輸和儲存。總之,ADIXEN APR 4300是一種先進而強大的實驗室設備和配件.它旨在在最苛刻的環境中提供可靠高效的性能。該機組配備了多種安全特性，獲得UL批準。此外,由於其模塊化的設計,它易於設置和維護。APR 4300是需要強大可靠的真空泵和集成控制器的實驗室應用的理想選擇。
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