二手 SHIMADZU CTO-10A VP #170893 待售

SHIMADZU CTO-10A VP是用於潔凈室/實驗室處理環境的先進熱氧化物設備。這臺多功能機器具有自動熱氧化物加工、化學氣相沈積、化學機械平面化等特點。它執行以下操作：化學機械拋光（CMP）、化學氣相沈積（CVD）和化學氣相催化氧化（CVCO）。這些工藝用於生產高性能組件，特別是用於微電子和光學設備的組件。CTO-10A VP配備了觸摸面板界面,使人員能夠輕松監控機器的性能。此外,其控制系統功能強大但靈活,可以定制以滿足特定要求。它的設計和布局保證了最佳的操作，以及易於操作和維護。SHIMADZU CTO-10A VP具有高級端點檢測功能,使其能夠準確檢測氧化過程的端點,而無需額外耗時的手動端點檢測過程。該單元還包括一種附加的預氧化方法，以確保氧化階段的氧化溫度穩定。為了保持一致CTO-10A溫度水平，VP配備了PID控制的溫度控制機。該工具與各種氣源兼容，從空氣/氙氣到氧氣、氮氣和CF4。CTO-10A先進的不銹鋼噴頭為每種氣體提供完全相同的質量流量。此外,該資產的最高溫度為750°C,確保它能夠高精度地執行氧化物工藝步驟。此外，SHIMADZU CTO-10A VP具有與催化氧化過程一致工作的6面積晶圓對齊器。此外,該模型還具有自動卡帶加載（ACL）過程,可以更輕松地設置CVM、CVD和CVP操作。CTO-10A VP的優質材料進一步幫助創建了一個持久、安全和環保的機器。這種高科技熱氧化物設備是任何實驗室或高科技處理環境的強大資產。