二手 ULVAC TC-7000 #9086683 待售

ULVAC TC-7000是一種實驗室設備和附件，為半導體工藝研究提供高效、高精度的蒸發設備。TC-7000將ULVAC獨特的旋轉蒸發源與高速多軸線性傳輸系統相結合，實現了極高的精度和溫度控制。該單元由於速度高而減少了植入間隔，可用於薄膜形成、高溫工藝、薄膜塗層等廣泛應用。ULVAC TC-7000包括三個主要組件：真空機、蒸發源和轉移組件。真空工具由兩個真空泵組成，一個油擴散泵、一個機械泵和一個單獨的渦輪分子泵。該裝置提供了高質量的真空環境和高效的氣體排放控制。蒸發源是放置在真空室內的旋轉蒸發源，允許粒子以極局部和精確的方式完全蒸發。轉移組件允許在蒸發源和基板之間進行精確和高速的轉移。TC-7000還具有溫度控制能力，以確保薄膜形成的準確性。蒸發源的溫度可以由集成在源支架內的溫度控制器控制，基板的溫度由CPU利用安裝在整個板上的熱電偶進行監控和控制。此外，ULVAC TC-7000包括防止兩個或多個源同時蒸發的互鎖資產和用於高度真空管理的自動排氣控制模型。TC-7000非常適合薄膜塗層、半導體加工和需要精密的各個領域的研究。ULVAC TC-7000憑借其先進的蒸發設備、溫度控制和聯鎖系統，提供了可靠準確的結果。這使得它成為任何實驗室尋找高精度和高效蒸發過程的必要設備。